振動傳感器按其功能可有以下幾種
按機(jī)械接收原理分:相對式、慣性式;
按機(jī)電變換原理分:電動式、壓電式、電渦流式、電感式、電容式、電阻式、光電式;
振動傳感器按所測機(jī)械量分:位移傳感器、速度傳感器、加速度傳感器、力傳感器、應(yīng)變傳感器、扭振傳感器、扭矩傳感器。
以上三種分類法中的傳感器是相容的。
1、相對式電動傳感器
電動式傳感器基于電磁感應(yīng)原理,即當(dāng)運(yùn)動的導(dǎo)體在固定的磁場里切割磁力線時,導(dǎo)體兩端就感生出電動勢,因此利用這一原理而生產(chǎn)的傳感器稱為電動式傳感器。相對式電動傳感器從機(jī)械接收原理來說,是一個位移傳感器,由于在機(jī)電變換原理中應(yīng)用的是電磁感應(yīng)電律,其產(chǎn)生的電動勢同被測振動速度成正比,所以它實際上是一個速度傳感器。
2、電渦流式傳感器
電渦流傳感器是一種相對式非接觸式傳感器,它是通過傳感器端部與被測物體之間的距離變化來測量物體的振動位移或幅值的。電渦流傳感器具有頻率范圍寬(0~10 kHZ),線性工作范圍大、靈敏度高以及非接觸式測量等優(yōu)點,主要應(yīng)用于靜位移的測量、振動位移的測量、旋轉(zhuǎn)機(jī)械中監(jiān)測轉(zhuǎn)軸的振動測量。
3、電感式傳感器
依據(jù)傳感器的相對式機(jī)械接收原理,電感式傳感器能把被測的機(jī)械振動參數(shù)的變化轉(zhuǎn)換成為電參量信號的變化。因此,電感傳感器有二種形式,一是可變間隙,二是可變導(dǎo)磁面積。
4、電容式傳感器
電容式傳感器一般分為兩種類型。即可變間隙式和可變公共面積式。可變間隙式可以測量直線振動的位移。可變面積式可以測量扭轉(zhuǎn)振動的角位移。
5、慣性式電動傳感器
慣性式電動傳感器由固定部分、可動部分以及支承彈簧部分所組成。為了使傳感器工作在位移傳感器狀態(tài),其可動部分的質(zhì)量應(yīng)該足夠的大,而支承彈簧的剛度應(yīng)該足夠的小,也就是讓傳感器具有足夠低的固有頻率。
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